[1] 상위 레벨 설계
우리 SEM의 프레임은 다음 4가지로 구성 할 것이다.
1.챔버
내부에 진공을 유지하기 위해서 사용하는 것이다.
2. 사각 기둥
전자총, 조리개, 집광렌즈, 스캔코일, 대물렌즈을 고정시키기 위한 역할을 한다. 이때 내부 장비들의 축을 맞추는 게 중요하다.
3. 외/내부 연결
대기 상태의 외부와 진공 상태인 내부에 전기적 신호를 연결 시켜주기 위한 부분이다. 공기가 진공으로 새어나가지 않도록 신경을 써야할 것이다.
4. 선반
내부 부품들을 제어할 수 있는 전자회로, power supply, 진공 펌프 등을 놓아 둘 공간이 필요하다.
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