[3] 내부 및 외부 프레임 제작

[3] 내부 및 외부 프레임 제작

1. 외부프레임

(1) 진공벨자

spec.: DU.2446559

(2) 스커트

spec.

***추후 캐드 추가

실물

 

(3) 외부프레임 하단부

spec.과 실물

 

단위 : mm

높이는 650에서 550으로 변형

2. 내부프레임

(1) 전산볼트

spec.

전산볼트와 육각너트는 10파이

( 2) 고정판, 너트

렌즈 고정판

다른 고정판은 필요에 따라 중간부분만 다르고 나머지 부분은 같다.

[2] 하위 레벨 설계

[2] 하위 레벨 설계

(1.1) 챔버- bell jar

스피드몰에서 판매하는 bell jar를 구매하기로 했다.

직경 215mm

높이 350mm

가격 30만원

http://www.speedmall.co.kr/indexMain.html  

(1.2) 오링

<출처 -

http://storefarm.naver.com/oneplusm/products/350025661?NaPm=ct%3Diqt0idlk%7Cci%3De2944af63aafc08a01cad0a994954c275cc9f41e%7Ctr%3Dsls%7Csn%3D323103%7Chk%3D73ce51588d887af6729516c4e8d8915a433e9218 >

챔버의 스커트에 알맞은 규격의 오링을 구매하여 스커드와 bell jar 사이의 진공을 유지할 것이다. 내경 214.5mm

두께 8.4mm

가격 1개 2000원

실리콘 오링을 사용하는 것이 더 좋을 것 같다. -> http://www.navimro.com/g/00103287/

(1.3) 사각 기둥

1) 전산 볼트

전산 볼트는 10cm*10cm 크기의 알루미늄 판 위에 7cm 간격을 가진 정사각형 모양으로 고정시킬 예정이다.

전산 볼트의 재질은 접지를 용이하게 하기위해 철로 된 전산 볼트를 구매 할 것이고 3개 구매를 예상하고 있다.

직경 10mm

길이 1m

전산 볼트(철) 550원

2) 너트

육각 너트를 1개당 30원으로 100개 가량 구매할 예정이다.

(1.4) 외/내부 연결

1)프드스루

2)토르실

(1.5) 선반

1)프로파일

 

선반의 전체 가로 세로 길이는 300x300 으로 하였다. 높이는 아래에 바퀴까지 합쳐서 750 으로 하였다.

선반은 위에서부터 차례대로 챔버를 올릴 수 있는 알류미늄 판, 프로파일, 풋 캐스터로 구성되어 있다.

오른쪽 도면은 알루미늄 판의 치수를 나타낸다. 두께 20에 300x300인 정사각형 알루미늄 판에 볼트를 넣기 위한 구멍 4개를 뚫는다.

프로파일은 30x30을 사용한다.

프로파일 650mm 4개/240mm 8개

알루미늄 판 1개

나머지는 동방에 있음.

(1.6) 풋케스터

풋캐스터 AC-300F (6.5파이) 1BOX(4EA)

풋케스터란 바퀴가 있는 수평조절자이다. SEM에서는 축과 수평을 정확하게 맞추는 것이 중요하기 때문에 풋케스터를 이용하여 선반의 수평을 조절할 수 있게 만들 것이다.

풋케스터 4개

[1] 상위 레벨 설계

[1] 상위 레벨 설계

우리 SEM의 프레임은 다음 4가지로 구성 할 것이다.

1.챔버

내부에 진공을 유지하기 위해서 사용하는 것이다.

2. 사각 기둥

전자총, 조리개, 집광렌즈, 스캔코일, 대물렌즈을 고정시키기 위한 역할을 한다. 이때 내부 장비들의 축을 맞추는 게 중요하다.

3. 외/내부 연결

대기 상태의 외부와 진공 상태인 내부에 전기적 신호를 연결 시켜주기 위한 부분이다. 공기가 진공으로 새어나가지 않도록 신경을 써야할 것이다.

4. 선반

내부 부품들을 제어할 수 있는 전자회로, power supply, 진공 펌프 등을 놓아 둘 공간이 필요하다.