[2] 하위 레벨 설계
(1.1) 챔버- bell jar
스피드몰에서 판매하는 bell jar를 구매하기로 했다.
직경 215mm
높이 350mm
가격 30만원
(1.2) 오링
<출처 -
챔버의 스커트에 알맞은 규격의 오링을 구매하여 스커드와 bell jar 사이의 진공을 유지할 것이다. 내경 214.5mm
두께 8.4mm
가격 1개 2000원
실리콘 오링을 사용하는 것이 더 좋을 것 같다. -> http://www.navimro.com/g/00103287/
(1.3) 사각 기둥
1) 전산 볼트
전산 볼트는 10cm*10cm 크기의 알루미늄 판 위에 7cm 간격을 가진 정사각형 모양으로 고정시킬 예정이다.
전산 볼트의 재질은 접지를 용이하게 하기위해 철로 된 전산 볼트를 구매 할 것이고 3개 구매를 예상하고 있다.
직경 10mm
길이 1m
전산 볼트(철) 550원
2) 너트
육각 너트를 1개당 30원으로 100개 가량 구매할 예정이다.
(1.4) 외/내부 연결
1)프드스루
2)토르실
(1.5) 선반
1)프로파일
선반의 전체 가로 세로 길이는 300x300 으로 하였다. 높이는 아래에 바퀴까지 합쳐서 750 으로 하였다.
선반은 위에서부터 차례대로 챔버를 올릴 수 있는 알류미늄 판, 프로파일, 풋 캐스터로 구성되어 있다.
오른쪽 도면은 알루미늄 판의 치수를 나타낸다. 두께 20에 300x300인 정사각형 알루미늄 판에 볼트를 넣기 위한 구멍 4개를 뚫는다.
프로파일은 30x30을 사용한다.
프로파일 650mm 4개/240mm 8개
알루미늄 판 1개
나머지는 동방에 있음.
(1.6) 풋케스터
풋캐스터 AC-300F (6.5파이) 1BOX(4EA)
풋케스터란 바퀴가 있는 수평조절자이다. SEM에서는 축과 수평을 정확하게 맞추는 것이 중요하기 때문에 풋케스터를 이용하여 선반의 수평을 조절할 수 있게 만들 것이다.
풋케스터 4개
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