[3] 진공 펌프 사용하기

[3] 진공 펌프 사용하기

(1) 설계한 진공 시스템

(V : vent valve)

1) 별도의 Vent valve를 추가하지 않고 turbo pump에 있는 vent valve를 이용

2) turbo pump는 power인가시 바로 작동하도록 되어 있었기 때문에 사용하지 않을 경우 power cable을 분리하여 둠.

(2) 동작 순서

-On 순서

1) turbo pump off

2) vent valve 확인

3) rotary pump on

4) gauge에서 진공도가 10-1 ~ 10-2 torr가 되는 것 확인

5) Turbo pump on

6) 10-4 torr 도달 확인

-Off 순서

1) turbo pump off 이후 1,2분 기다림

2) rotary pump off

3) 10-2 torr에서 vent valve 서서히 열기

4) 760 torr(대기압)도달 확인