[1] 상위 레벨 설계

[1] 상위 레벨 설계

1.조리개란?

조리개의 크기는 50~200 마이크로미터로 렌즈와 함께 조합하여 전자빔의 크기를 줄이는 역할을 한다. 조리개가 작을경우 전자 beam current가 작아져서 구면수차가 작아지고 초점심도가 커진다. 조리개가 커질경우 X-ray를 검출할 때 많은 X-ray를 한꺼번에 수집할 수 있어 빠른 성분 분석을 할수 있다. 광학에서 조리개의 역할은 빛의 양을 조절하는 것이지만 SEM에서는 수차를 줄이는 것이 중요하다.

2. 조리개와 depth of focus의 관계

조리개와 depth of focus의 관계는 중요하다. 왼쪽 그림을 보자. depth of focus란 초점이 맺혔다고 볼 수 있는 범위로 조리개를 좁히면 depth of focus가 넓어진다. Depth of focus가 넓어지면 상이 조금 다르게 맺혀도 초점이 맞아지게 되어서 작은 물체를 관찰하기에 유리하다. 반대로 depth of focus가 좁아지면 상이 조금만 다르게 맺혀도 초점에서 벗어나게 된다. 이 현상은 높은 배율에서 더 확연히 드러나게 된다.

오른쪽 그래프는 확대한 배율에 때른 Depth of focus의 크기를 나타내는 것이다. 표를 보면 알 수 있듯이 같은 배율로 확대할 때 SEM의 Depth of focus가 더 커서 작은 물체를 보기에 좋다는 것을 알 수 있다.

3. 조리개의 크기 결정

그렇다면 조리개가 무조건 작으면 좋은가??